永利集团手机在线登录同样证明采用集成MEMS器件是合理的,以建造首个单芯片自供电无线传感器系统

[据微新闻网站2011年12月8日报道]
位于法国巴黎的伯克利传感器和执行器中心将于2012年1月29日举办研讨会。此次研讨会将介绍采用碳化硅和氮化铝制造MEMS无线传感器的目前研究情况以及未来展望,以应对低端恶劣环境下MEMS的应用。这些传感器正在集成到碳化硅电子器件和氮化铝储能设备,以建造首个单芯片自供电无线传感器系统。

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